G600 采用優(yōu)良的激光 - PSD（Position Sensitive Detector）原理，以高準(zhǔn)直性的激光束作為理想直線基準(zhǔn)。激光沿直線傳播過(guò)程中，通過(guò) PSD 接收器精確捕捉被測(cè)對(duì)象表面或運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的位置偏移量。PSD 由 P 襯底、PIN 光電二極管及表面電阻構(gòu)成，相比傳統(tǒng) CCD 探測(cè)器，具有更高的位置分辨率、更寬的光譜響應(yīng)范圍以及更快的響應(yīng)速度，確保了測(cè)量數(shù)據(jù)的精準(zhǔn)獲取。測(cè)量軟件基于各點(diǎn)偏移數(shù)據(jù)，運(yùn)用專業(yè)算法計(jì)算出直線度、平行度、垂直度、平面度、軸線偏移等關(guān)鍵參數(shù)，為工業(yè)測(cè)量提供可靠依據(jù)。

性能參數(shù)

直線度測(cè)量：測(cè)量距離可達(dá) 40m，測(cè)量范圍為 ±5mm，系統(tǒng)精度高達(dá) ±(1μm + 1% A)（A 為最大顯示值，單位 μm），滿足長(zhǎng)距離、高精度的直線度檢測(cè)需求。

平行度測(cè)量：測(cè)量范圍 ±5mm，使用棱鏡時(shí)，夾角精度為 ±(4 + 2/M + 0.01A/M)μm/m，點(diǎn)間距精度為 ±(2 + 4M + 0.01A)μm；不使用棱鏡時(shí)，夾角精度為 ±(2/M + 0.01A/M)μm/m，點(diǎn)間距精度為 ±(1 + 0.01A)μm（M 為基準(zhǔn)長(zhǎng)度，單位 m），可精確測(cè)量不同場(chǎng)景下的平行度。

垂直度測(cè)量：測(cè)量范圍 ±5mm，精度達(dá)到 ±(4 + 2/M + 0.01A/M)μm/m，確保垂直方向的高精度檢測(cè)。

平面度測(cè)量：精度可達(dá) ±(2 + 0.02A)μm，有效保障平面度測(cè)量的準(zhǔn)確性。